褚金奎,郝秀春,关乐,等.柔性电热镍微夹钳结构设计及加工测试研究[J].,2007,(3):363-367 |
柔性电热镍微夹钳结构设计及加工测试研究 |
Research on design,fabrication and performance testing of compliant electrothermal nickel microgripper |
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DOI:10.7511/dllgxb200703011 |
中文关键词: 柔性机构 伪刚体法 微夹钳 UV-LIGA |
英文关键词: compliant mechanisms pseudo-rigid-body method microgripper UV-LIGA |
基金项目:国家自然科学基金资助项目(50135040, 50475153). |
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中文摘要: |
把柔性机构的设计方法——伪刚体法应用于柔性微夹钳的设计中,得到一种新结构形式的电热微夹钳,用UV-LIGA方法进行加工制作,并进行动态性能测试. 从对称的平面十杆刚性机构得到其伪刚体模型,对伪刚体模型进行优化并柔性化得到放大20倍的柔性微夹钳钳体,通过仿真验证了设计的正确性和可靠性. V形电热驱动器与柔性钳体集成到一起,形成柔性电热微夹钳. 用SU-8胶做电铸铸模,钛和二氧化硅做牺牲层,铜做种子层,在氨基磺酸镍电铸液中进行电铸,加工出最小特征尺寸10 μm,厚度30 μm的电热镍微夹钳. 最后对制作的微夹 |
英文摘要: |
Pseudo-rigid-body method which is one of compliant mechanisms design methods was used to design compliant microgripper, and a new electrothermal microgripper was obtained. The electrothermal microgripper was fabricated with UV-LIGA process, as well as sim |
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